Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка элементов МЭМС на базе интерференционных фильтров высокого разрешения

Работы должны проводиться в рамках критической технологии «Технологии мехатроники и создания микросистемной техники». Работы должны соответствовать по предполагаемому исполнению лучшим мировым стандартам. Создаваемый научно-технический задел должен обеспечивать в будущем проведение опытно-конструкторских и технологических работ на конкурентном уровне. Результаты работ должны способствовать дальнейшему инновационному развитию российских технологий в данном приоритетном направлении Программы.

Соисполнители

Организация
ЗАО "Наносистемы"
Организация
МГТУ им. Н.Э.Баумана

Этапы проекта

1
12.03.2007 - 10.07.2007
Проведены исследования по определению математической модели расчета интерференционных фильтров;
Разработана математическая модель трехслойного интерференционного фильтра, проведены расчеты характеристик фильтров от толщины металлических пленок (алюминий, золото) и толщины промежуточного слоя;
Проведен анализ перспективных технологий создания тонкопленочных металлических покрытий и промежуточного диэлектрического слоя. Наиболее подходящей технологией нанесения таких покрытий является использование ионно-плазменных процессов (магнетронное, ионно-лучевое), которые позволяют наносить пленки с нанометровым разрешением, высокой точностью воспроизведения толщины (1-2%).
Из анализа характеристик интерференционных фильтров в соответствии с предложенной моделью и технологии их нанесения выбраны материалы (алюминий, золото) пригодные для создания фильтров Фабри-Перо.
Рассмотрена альтернативная технология нанесения тонких пленок с использованием различных методов (магнетронное + ионно-лучевое в едином цикле), что позволяет в одном процессе формировать тонкие металлические и диэлектрические пленки)
Развернуть
2
11.07.2007 - 31.10.2007
Созданы экспериментальные образцы интерференционных фильтров Фабри-Перо с применением технологии ионно-плазменного напыления тонких плёнок (3 шт.);
Созданы экспериментальные образцы интерференционных фильтров Фабри-Перо с использованием модифицированной технологии (апробация) (2шт.);
Исследованы спектральные характеристики экспериментальных образцов интерференционных фильтров Фабри-Перо;
Изучено влияния различных факторов (электрическое поле, температура) на характеристики образца;
Проведен анализ результатов экспериментов и выработаны рекомендации для создания опытной партии;
Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
Результаты работы связанные с нанесением диэлектрических пленок были доложены на международной выставке-конгрессе «Мехатроника и робототехника» (МиР-2007) г. Санкт-Петербург, октябрь 2007г
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
2 млн
Организация
МГТУ им. Н.Э.Баумана
профинансировано
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области индустрии наносистем и материалов по критической технологии «Технологии мехатроники и создания микросистемной техники» (мероприятие 1.3 Программы)
Продолжительность работ
2007, 7 мес.
Бюджетные средства
16 млн
Количество заявок
48
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем
Продолжительность работ
2007, 8 мес.
Бюджетные средства
72 млн
Количество заявок
48
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биомедицинские и ветеринарные технологии жизнеобеспечения и защиты человека и животных»
Продолжительность работ
2007, 8 мес.
Бюджетные средства
72 млн
Количество заявок
136
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Геномные и посттеномные технологии создания лекарственных средств» (мероприятие 1.2 Программы)
Продолжительность работ
2007, 8 мес.
Бюджетные средства
72 млн
Количество заявок
43
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Технологии биоинженерии» (мероприятие 1.2 Программы)
Продолжительность работ
2007, 8 мес.
Бюджетные средства
72 млн
Количество заявок
49