Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка, создание и метрологическая аттестация специализированных тест-объектов нанометрового диапазона в обеспечение единства измерений геометрических параметров материалов и структур нанотехнологий

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3223
Организация
АО "НИЦПВ"
Руководитель работ
Тодуа Павел Андреевич
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
16 млн
Внебюджетные средства
4,6 млн

Обеспечение единства измерений в нанотехнологиях на всех этапах выполнения измерений, начиная с этапа получения экспериментальных данных об измеряемом физическом параметре наноструктур и наноматериалов, и заканчивая этапом обработки этих данных и получения адекватной информации о конкретном значении измеряемого физического параметра с указанием погрешности измерений.

Соисполнители

Этапы проекта

1
17.05.2007 - 31.07.2007
Дано обоснование выбора направлений научных исследований, разработана общая методология тест-объектов нанометрового диапазона, установлены требуемые характеристики и параметры кристаллических материалов, на основе которых будут созданы тест-объекты нанометрового диапазона для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии и систем позиционирования и сканирования, применяемых в нанотехнологиях.
Опубликована 1 научная статья в печатных изданиях по теме проекта.
Развернуть
2
01.08.2007 - 07.12.2007
Разработаны конструкция и технология изготовления тест-объектов.
2. Созданы и испытаны экспериментальные образцы тест-объектов:
(1) мер малой длины, сформированных на поверхности кремния,
(2) тест-объектов на основе планарных гетероструктур в кремнии и GaAs, содержащих квантовые ямы Si1-xGex и (Ga1-xInx)As, и
(3) тест-объектов на основе ниобата лития,
и выполнено экспериментальное и теоретическое исследование указанных тест-объектов.
3. Разработаны физические модели формирования сигнала средств измерений.
4. Составлен промежуточный отчет.
Развернуть
3
01.01.2008 - 30.04.2008
Разработаны методики аттестации специализированных тест-объектов нанометрового диапазона для растровой электронной и атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифрактометрии, систем позиционирования и прецизионных перемещений в микро- и нанометровом диапазонах.
  Разработаны методики выполнения измерений параметров нанообъектов - методики рентгенодифракционных измерений, заключающиеся в регистрации дифрагированного излучения в широком угловом диапазоне.
  Разработаны методы калибровки средств измерений: растровых электронных микроскопов, атомно-силовых микроскопов и рентгеновских дифрактометров.
  Разработаны компьютерные модели формирования кривых дифракционного отражения от полупроводниковых гетероструктур в рентгеновском дифрактометре.
  Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96 предполагаемого изобретения «Тестовый объект для калибровки растровых электронных и атомно-силовых микроскопов».
  Опубликованы 2 научные статьи в печатных изданиях по теме проекта.
Развернуть
4
01.05.2008 - 31.10.2008
В результате выполнения работ по данной теме были созданы и испытаны лабораторные образцы тест-объектов нанометрового диапазона: (1) мер малой длины, сфор
  Показано, что на основе разработанных тест объектов можно создавать конкурентоспособную продукцию.
  С формулированы технические требования для ТЗ на выполнение ОКР.
  Разработаны четыре проекта стандартов на методы калибровки растровых электронных и атомно-силовых микроскопов.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Тема
Разработка методов и средств метрологического обеспечения единства измерений в нанотехнологиях на основе тест-объектов нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
9
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне
Продолжительность работ
2008 - 2010, 27 мес.
Бюджетные средства
55 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений геометрических параметров наноматериалов и продукции наноиндустрии.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 26 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка и создание специализированного эталонного комплекса для аттестации и контроля средств измерений физических параметров наноразмерных объектов и структур, систем позиционирования и сканирования в нанотехнологиях и наноиндустрии.
Продолжительность работ
2007, 4 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
8
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений магнитных параметров наноструктур, материалов и продукции наноиндустрии
Продолжительность работ
2008 - 2010, 27 мес.
Бюджетные средства
103 млн
Количество заявок
1