Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка конструкций и методов проектирования многоосевых микро- и наномеханических компонентов навигационных систем, изготавливаемых по LIGA-технологии с применением синхротронного излучения

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3225
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Внебюджетные средства
3 млн

Создание интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств и систем прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования, обладающих эксплуатационными характеристиками, необходимыми для обеспечения функционирования высокоэффективных, конкурентоспособных технических средств нового поколения.

Соисполнители

Предложения

Разработка конструкций и методов проектирования многоосевых микро- и наномеханических компонентов инерциальных навигационных систем, изготавливаемых на основе LIGA-технологии с применением синхротронного излучения
Тема
Разработка конструкций и методов проектирования многоосевых микро- и наномеханических компонентов инерциальных навигационных систем, изготавливаемых на основе LIGA-технологии с применением синхротронного излучения
Входящий номер
295
Руководитель организации-инициатора
Боровская Марина Александровна

Этапы проекта

1
17.05.2007 - 07.12.2007
Разработаны конструкции многоосевых микро/наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.
Разработаны модели и методы моделирования трехосевых микромеханических компонентов.
Разработана технология получения электрострикционной и пьезоэлектрической керамики.
Отработан технологический процесс изготовления лабораторных образцов микромеханических компонентов с применением синхротронного излучения.
Разработана эскизная конструкторская документация лабораторного образца.
Составлен отчет о патентных исследованиях.
Составлен промежуточный отчет.
Развернуть
2
01.01.2008 - 31.05.2008
Проведены дополнительные патентные исследования;
  Разработаны методы и средства проектирования микро- и наномеханических сенсоров;
  Изготовлены лабораторные образцы микромеханических компонентов по LIGA-технологии;
  Разработаны методики испытаний лабораторных образцов микромеханических компонентов;
Развернуть
3
01.06.2008 - 31.10.2008
Проведены дополнительные патентные исследования,
  Проведены испытания лабораторных образцов;
  Разработаны предложения по применению пьезокерамических материалов в микро наномеханических сенсорах и актюаторах, предназначенных для работы в широком диапазоне температур;
  Разработаны рекомендации по проектированию инерциальных навигационных систем на основе трехосевых микромеханических компонентов; обобщены результаты работы.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
профинансировано
Тема
Разработка интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств для прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования различного назначения.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
5
Тема
Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
48,3 млн
Количество заявок
8
Тема
Разработка технологических основ наноэлектронных и микроэлектромеханических устройств с использованием нанотехнологических комплексов на установке "Специализированный источник синхротронного излучения "Сибирь-2" - "Зеленоград" (ТНК "ЗЕЛЕНОГРАД") (рег. № 01-76)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
4,8 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка устройств исполнительной прецизионной автоматики авиакосмических аппаратов на основе нано- и микроэлектромеханических систем
Продолжительность работ
2013, 5 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
11
Тема
Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований по разработке методов создания интегрированных нано- и микроэлектромеханических систем управления и контроля транспортными средствами.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
10