Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка и изготовление интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических элементов микросистемной техники для получения законченных устройств широкого применения

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3228
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Тимошенков Сергей Петрович
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Внебюджетные средства
2,6 млн

Создание интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств и систем прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования, обладающих эксплуатационными характеристиками, необходимыми для обеспечения функционирования высокоэффективных, конкурентоспособных технических средств нового поколения.

Соисполнители

Организация
АО "ЗИТЦ"

Этапы проекта

1
17.05.2007 - 30.09.2007
В работе проведен анализ научно-технической литературы по изделиям микросистемной техники, выявлены основные преимущества микроустройств: невысокая стоимость при массовом производстве, достаточно высокая надежность и повторяемость характеристик микроприборов, широкий диапазон применения изделий микросистемной техники.
Кроме того, было сделано обоснование выбора направления исследований и способов решения поставленных задач при разработке и изготовлении интегрированных нано-, микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических элементов микросистемной техники.
В работе представлена разработка математических моделей динамики чувствительных элементов микроакселерометров, с учетом внешних механических возмущений и «паразитных» степеней свободы; были также рассмотрены и технологические погрешности изготовления чувствительных элементов микроакселерометров.
В процессе выполнения работы была разработана методика проектирования оптимальной топологии датчиков микро- и наноперемещения чувствительных элементов изделий микросистемной техники, оптоэлектромеханических устройств.
Проведено исследование материалов для получения нано- и микроэлектромеханических элементов и разработка технологической оснастки для совмещения, фиксации и последующей термообработки деталей чипа микроакселерометра, а также разработка технологической оснастки для напыления металлических слоев.
Развернуть
2
01.10.2007 - 31.12.2007
1. Разработаны методики экспериментальных исследований нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических элементов, подготовлены модели (макетов экспериментальных образцов), оснастки, а также испытательных стендов.
2. Разработаны высокоскоростные (по сравнению с существующими) алгоритмы управления чувствительными элементами МЭМС.
3. Разработаны высокоточные методы контроля основных параметров МЭМС.
4. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
Развернуть
3
01.01.2008 - 30.04.2008
Доработаны технологические процессы получения макетов нано и микроэлектромеханических элементов.
  Изготовлены макеты нано и микроэлектромеханических элементов и проверена их работоспособность.
  Исследованы колебательные контуры макетов нано и микроэлектромеханических элементов.
  Проведены испытания макетов нано и микроэлектромеханических элементов.
Развернуть
4
01.05.2008 - 31.10.2008
Разработка микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических элементов основывается на использовании базовой технологии микроэлектроники, которая обеспечивает высокую точность изготовления и низкую стоимость продукции за счет групповой обработки пластин, а также на модернизации технологических процессов травления кремния, разработки особых технологических операций, предъявления более высоких требований к величине остаточных напряжений в используемых пленках и материалах.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
профинансировано
Тема
Разработка интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств для прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования различного назначения.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
5
Тема
Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований по разработке методов создания интегрированных нано- и микроэлектромеханических систем управления и контроля транспортными средствами.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
10
Тема
Разработка устройств исполнительной прецизионной автоматики авиакосмических аппаратов на основе нано- и микроэлектромеханических систем
Продолжительность работ
2013, 5 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
11
Тема
Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований по созданию нано- и микроэлектромеханических систем и мехатронных устройств для космической техники.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
17
Тема
Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
48,3 млн
Количество заявок
8