Эксπир
Регистрация / Вход

Исследование и разработка конструктивно- технологических решений создания и методов проектирования элементов наноэлектроники

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3239
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Чаплыгин Юрий Александрович
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн

В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации

Этапы проекта

1
25.06.2007 - 20.11.2007
разработаны конструктивно- технологические принципы формирования поверхностных периодических наноструктур на основе кремния, основанные на использовании в качестве твердой маски пористого анодного оксида алюминия и плазменного его травления. Разработаны методы приборно-технологического моделирования функционально-интегрированных элементов концентрации внешнего магнитного поля, обеспечивающих высокую чувствительность магниторезистивных наноструктур. Конструктивно-технологические методы создания магниточувствительных сенсоров на основе структурных схем формирования многослойных магниторезистивных наноструктур. Развит метод нанолитографии на основе локального зондового окисления сверхтонких металлических пленок и ковалентных полупроводников, характеризующейся повышенной производительностью и разрешающей способностью (менее 10 нм). Разработаны методики проведения измерений на основе атомной силовой и магнитной силовой микроскопии, обеспечивающие повышенную разрешающую способность методов. Разработаны подходы к приборно- технологическому моделированию КМДП- структур с размерами 130-65 нм. и методология проектирования для повышения технологичности наноразмерных КМДП – структур.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ИНХ СО РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ФИАН
профинансировано
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Клеточные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
15,6 млн
Количество заявок
16
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Технологии биоинженерии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
10,8 млн
Количество заявок
14
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биокаталитические, биосинтетические и биосенсорные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
4,8 млн
Количество заявок
9
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биомедицинские и ветеринарные технологии жизнеобеспечения и защиты человека и животных» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
18 млн
Количество заявок
40
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Геномные и постгеномные технологии создания лекарственных средств» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
8,4 млн
Количество заявок
6