Эксπир
Регистрация / Вход

Исследование возможностей использования ЭЦР разряда, поддерживаемого мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн, в качестве источника экстремального ультрафиолетового излучения для проекционной литографии высокого разрешения

В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации

Этапы проекта

1
25.06.2007 - 20.11.2007
Проведено экспериментальное и теоретическое исследование процесса образования многозарядных ионов олова в ЭЦР разряде в осесимметричной магнитной ловушке, поддерживаемом коротковолновым излучением гиротрона.
Модернизирована имеющаяся установка с целью обеспечения одновременного ввода в магнитную ловушку вдоль ее оси СВЧ излучения и плазмы вакуумно-дугового разряда, содержащей ионы олова.
Выполнено численное моделирование процессов образования многозарядных ионов в ЭЦР разряде в квазигазодинамическом режиме удержания.
Проведено исследование особенностей дополнительной ионизации ионов олова в импульсном режима поддержания плазмы.
Выполнено измерение абсолютного значения интенсивности излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета (13,5 нм). Получены оптимальные условия генерации излучения в указанном диапазоне.
Сформулированы предложения по совершенствованию согласования СВЧ излучения с плазмой, позволяющего увеличить эффективность генерации экстремального ультрафиолета
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ФНМ
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
профинансировано
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области энергетики и энергосбережения по критической технологии «Технологии новых и возобновляемых источников энергии» (мероприятие 1.6 Программы)
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
13,2 млн
Количество заявок
17
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Клеточные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
15,6 млн
Количество заявок
16
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Технологии биоинженерии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
10,8 млн
Количество заявок
14
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биокаталитические, биосинтетические и биосенсорные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
4,8 млн
Количество заявок
9
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биомедицинские и ветеринарные технологии жизнеобеспечения и защиты человека и животных» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
18 млн
Количество заявок
40