Эксπир
Регистрация / Вход

Исследование возможностей использования ЭЦР разряда, поддерживаемого мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн, в качестве источника экстремального ультрафиолетового излучения для проекционной литографии высокого разрешения

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3254
Организация
ИПФ РАН
Руководитель работ
Литвак Александр Григорьевич
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Внебюджетные средства
1,4 млн

В результате выполнения каждой работы должен быть создан необходимый научно-технический задел, обеспечивающий переход к проведению опытно-конструкторских работ с целью последующей коммерциализации

Этапы проекта

1
25.06.2007 - 20.11.2007
Проведено экспериментальное и теоретическое исследование процесса образования многозарядных ионов олова в ЭЦР разряде в осесимметричной магнитной ловушке, поддерживаемом коротковолновым излучением гиротрона.
Модернизирована имеющаяся установка с целью обеспечения одновременного ввода в магнитную ловушку вдоль ее оси СВЧ излучения и плазмы вакуумно-дугового разряда, содержащей ионы олова.
Выполнено численное моделирование процессов образования многозарядных ионов в ЭЦР разряде в квазигазодинамическом режиме удержания.
Проведено исследование особенностей дополнительной ионизации ионов олова в импульсном режима поддержания плазмы.
Выполнено измерение абсолютного значения интенсивности излучения в диапазоне экстремального ультрафиолета (13,5 нм). Получены оптимальные условия генерации излучения в указанном диапазоне.
Сформулированы предложения по совершенствованию согласования СВЧ излучения с плазмой, позволяющего увеличить эффективность генерации экстремального ультрафиолета
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ФНМ
профинансировано
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
профинансировано
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области энергетики и энергосбережения по критической технологии «Технологии новых и возобновляемых источников энергии» (мероприятие 1.6 Программы)
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
13,2 млн
Количество заявок
17
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Клеточные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
15,6 млн
Количество заявок
16
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Технологии биоинженерии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
10,8 млн
Количество заявок
14
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биокаталитические, биосинтетические и биосенсорные технологии» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
4,8 млн
Количество заявок
9
Тема
Работы по проведению проблемно-ориентированных поисковых исследований и созданию научно-технического задела в области живых систем по критической технологии «Биомедицинские и ветеринарные технологии жизнеобеспечения и защиты человека и животных» (мероприятие 1.2. Программы).
Продолжительность работ
2007, 5 мес.
Бюджетные средства
18 млн
Количество заявок
40