Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка и создание специализированного эталонного комплекса для аттестации и контроля средств измерений физических параметров наноразмерных объектов и структур, систем позиционирования и сканирования в нанотехнологиях и наноиндустрии

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3321
Организация
ФГУП "ВНИИОФИ"
Руководитель работ
Иванов Вячеслав Семенович
Продолжительность работ
2007, 3 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Внебюджетные средства
2,5 млн

Цель работы: обеспечение единства измерений в нанотехнологиях и наноиндустрии при измерении физических параметров наноразмерных объектов и структур, систем позиционирования и сканирования на основе специализированного эталонного комплекса, предназначенного для воспроизведения и передачи размера единицы физической величины от первичного эталона соответствующей единицы величины к средствам измерений, применяемым в нанометровом и прилегающим к нему диапазонах.

Соисполнители

Организация
ИМИСС МГУ
Организация
ИАиЭ СО РАН

Этапы проекта

1
05.07.2007 - 31.10.2007
1. Разработаны принципы построения специализированного эталонного комплекса для аттестации и контроля средств измерений показателя преломления и спектрофотометрических параметров нано структурированных объектов и материалов. Комплекс включает в себя Первичный государственный эталон единицы показателя преломления, набор мер для передачи единицы и интерференционно-спектральная система сверхвысокого разрешения для измерения комплексного показателя преломления и поляризационных свойств наноструктурированных материалов. Создан лабораторный образец специализированного эталонного комплекса.
2. На основании экспериментальных и теоретических исследований разработана физическая модель формирования изображения различных наноструктур в таких оптических спектральных приборах, как цифровой интерференционный микроскоп с расширенным спектром зондирующего излучения, ближнепольный и конфокальный микроскопы. Методами математического моделирования было показано, что многоракурсное зондирование позволяет расширить спектр пространственных частот при формировании изображений наноструктур.
3. Разработаны физические и методические основы калибровки и аттестации средств эталонного комплекса и методики проведения испытаний специализированного эталонного комплекса. Они основаны на передаче единицы показателя преломления от первичного эталона интерференционному микрорефрактометру при помощи рефракционных жидкостей двухэиммерсионным методом.
4. Разработан проект поверочной схемы для средств измерений показателя преломления наноматериалов;
5. Разработаны проекты трех ГОСТ на методы и средства обеспечения единства измерений в нанотехнологиях;
6. Созданы аппаратные средства аттестации пятимерных перемещений сканирующего элемента с точностью 0,1 нанометра и чувствительностью не хуже 0,05 нм. Разработана модель для прогнозирования и вычисления ошибок трех- и пятимерного перемещения зондирующего излучения. Разработаны программно-аппаратные средства для тестирования и управления микромеханическими и пьезоэлектрическими системами.
7. Разработан проект ТЗ на ОКР; Проведены патентные исследования.
8. Подана заявка на патент «Способ изготовления метрологического эталона на основе квантово-размерного эффекта сдвига спектра фундаментального поглощения в тонкопленочных структурах».
9. Произведены публикации в ведущих научных журналах.
10. Подготовлены две диссертации по теме контракта.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Тема
Разработка и создание специализированного эталонного комплекса для аттестации и контроля средств измерений физических параметров наноразмерных объектов и структур, систем позиционирования и сканирования в нанотехнологиях и наноиндустрии.
Продолжительность работ
2007, 4 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
8
Тема
Разработка методов и средств метрологического обеспечения единства измерений в нанотехнологиях на основе тест-объектов нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
9
Тема
Создание аттестованных методик и эталонных мер для обеспечения единства измерений координат и позиционирования объектов в наноинженерии и наноэлектронике.
Продолжительность работ
2011, 6 мес.
Бюджетные средства
8 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса и нормативно-методической базы для обеспечения единства измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне
Продолжительность работ
2008 - 2010, 27 мес.
Бюджетные средства
55 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание методов и средств обеспечения единства измерений параметров наночастиц в природных и технологических средах и разработка методик оценки соответствия параметров наночастиц антропогенного и техногенного происхождения в атмосфере и природных водах.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
17 млн
Количество заявок
1