Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка наноструктурированных материалов с использованием многочастотного емкостного разряда с возможностью независимого регулирования энергии и потока ионов

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3396
Организация
ФГУП ВЭИ
Руководитель работ
Коваленко Юрий Алексеевич
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Внебюджетные средства
3 млн

Создание наноструктурированных функциональных материалов за счет модификации многочастотным емкостным разрядом.

Участники проекта

Предложения

Создание методов и разработка программно-аппаратного комплекса для построения энергоэффективных базовых элементов наноразмерных СБИС и СФ блоков в составе устройств типа «наносистема на кристалле»
Тема
Создание методов и разработка программно-аппаратного комплекса для построения энергоэффективных базовых элементов наноразмерных СБИС и СФ блоков в составе устройств типа «наносистема на кристалле»
Входящий номер
7078
Организация
МИЭТ
Руководитель организации-инициатора
Беспалов Владимир Александрович
Исследование физических процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов, определяющих предельные возможности плазменных источников для травления кристаллических материалов с топологической нормой 32 нанометра
Тема
Исследование физических процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов, определяющих предельные возможности плазменных источников для травления кристаллических материалов с топологической нормой 32 нанометра
Входящий номер
5720
Организация
НИИЯФ МГУ
Руководитель организации-инициатора
Панасюк Михаил Игоревич
 Показать еще 11 предложений
 Скрыть другие предложения

Этапы проекта

1
29.08.2008 - 05.12.2008
2.1. При выполнении первого были проведены следующие работы: исследова-ния по выбору и обоснованию принятого направления исследований и способов решения поставленных задач; проведена разработка общей методики проведения исследований; проведено математическое моделирование характеристик высоко-частотных разрядов с описанием самосогласованных моделей и физических меха-низмов нелинейного моделирования частот и самоорганизации плазмы; проведен анализ методов получения и моделирование физических свойств создаваемых нано-структурированных материалов; проведено исследование основных физических механизмов нелинейного взаимодействия частот и самоорганизации плазмы и ис-следование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индук-тивно-емкостных разрядов; исследована возможность масштабирования высокочас-тотных плазменных источников по мощности и по площади обрабатываемой по-верхности; проведена разработка блоков и узлов экспериментального реактора, под-готовлена эскизная документация на блоки и узлы экспериментального реактора, проведены патентные исследования;
Разработана общая методика проведения исследований. Были разработаны методы исследования основных физических механизмов нелинейного взаимодейст-вия частот и самоорганизации плазмы и исследование процессов возбуждения плазмы многочастотных емкостных и индуктивно-емкостных разрядов. Были про-ведены испытания макетов узлов разрабатываемого экспериментального реактора на соответствие требованиям технического задания по величине частотного диапа-зона и мощности высокочастотного излучения. Разработанный макет генератора для экспериментального реактора позволяет получить многочастотное излучение мощностью не менее 5.0 кВт в диапазоне не менее 22 % от средней частоты, что со-ответствует требованиям технического задания.
Развернуть
2
01.01.2009 - 31.05.2009
Получены наноструктурированные пленки, в том числе изготовлены экспериментальные образцы наноразмерных слоев диэлектриков с высокими изоляционными свойствами.Разработаны и изготовлены узлы экспериментального плазмохимического реактора для осаждения наноструктурированных пленок, в т.ч. высокочастотный генератор для плазмохимических установок мощностью 1000 Вт и нагреваемый держатель подложек для осаждения наноструктурированных углеродных пленок.
Развернуть
3
01.06.2009 - 31.10.2009
Изготовлен и испытан макет плазмохимического реактора. Проведены исследования экспериментальных образцов наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.Доработана лабораторная технология изготовления наноструктурированных материалов для силовой полупроводниковой техники.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2012, 1 мес.
Бюджетные средства
1,4 млн
Организация
ФГБОУ ВО "КНИТУ"
профинансировано
Продолжительность работ
2011 - 2012, 15 мес.
Бюджетные средства
13 млн
профинансировано
Тема
Разработка наноструктурированных материалов с использованием многочастотного емкостного разряда с возможностью независимого регулирования энергии и потока ионов.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
15 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование несамостоятельного тлеющего разряда с импульсной емкостной предионизацией в быстром потоке газа с целью получения мощного высококачественного лазерного излучения на установке: "Комплекс научных установок для исследования механики лазерных разрядов "Лантан" (ЛАНТАН) (рег. № 01-52)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
1 млн
Количество заявок
1
Тема
«Разработка метода получения и модификации наночастиц при помощи электрических разрядов в потоках жидкости».
Продолжительность работ
2011 - 2012, 19 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка новых элементов энергоэффективного электротехнического оборудования на основе исследования физики генерации высокоинтенсивных моноэнергетических пучков ионов в разрядах в скрещенных электрическом и магнитном полях
Продолжительность работ
2007 - 2008, 15 мес.
Бюджетные средства
24 млн
Количество заявок
2
Тема
Исследование взаимодействия управляемых потоков электронов, ионов малых и средних энергий, гамма-излучения и нейтронов с различными материальными объектами на установке: "Радиационно-ускорительный стенд (РУС) (рег. № 06-10)"
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
0,7 млн
Количество заявок
1