Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка методов создания наномембран для приемников инфракрасного изображения с зарядовой связью

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3409
Организация
ООО "ЭЛЕМ ИНФО"
Руководитель работ
Рыгалин Дмитрий Борисович
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Создание ИК приемников нового класса на основе использования мембранных нанотехнологий в фотоэлектронике.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Фетисов Евгений Александрович

Этапы проекта

1
30.09.2008 - 14.11.2008
1. Результаты работы на отчетном этапе, в том числе: разработанные ви-ды продукции.
При выполнении НИР разработаны: физико-математические модели нано-мембранных структур; топология лабораторного образца одномерного приемни-ка; комплект фотошаблонов (7 шт.); лабораторный технологический регламент синтеза наномембран для приемников ИК изображения; Программа и методики испытаний лабораторных образцов ИК приемников; ТЗ на ОТР.
В соответствии с лабораторным технологическим регламентом изготовле-ны лабораторные образцы одномерных матричных микро- и наномеханических приемников ИК изображения на основе чувствительных элементов мембранного и кантилеверного типа с использованием биматериальных слоев. Основные ха-рактеристики полученных результатов:
- эквивалентная шуму разность температур (NETD) 50 мК ± 25 %;
- время накопления 25 мс;
- рабочая температура 295 К.
Оценка полноты решения поставленной в НИР задачи показала, что ре-зультаты НИР полностью соответствуют требованиям ТЗ.
2. Методики микромеханической обработки, разработанные в НИР и близкие к последним усовершенствованиям в кремниевой технологии, позволяют произ-вести очень тонкие мембраны, которые весьма чувствительны к инфракрасному излучению. Следует отметить, что публикации об отечественных аналогах раз-работанных МОЭМС ИК приемников отсутствуют. Сравнение полученных в хо-де НИР результатов с зарубежными аналогами показывают, что по основным па-раметрам (NETD, рабочая температура) наши образцы соответствуют зарубеж-ным.
3. Особенности исследования, разработки, метода или методологии про-ведения работы на отчетном этапе.
В качестве исследовательских методов, позволяющих в полной мере про-вести измерение заданных параметров и характеристик лабораторных образцов, были выбраны следующие: Визуальный контроль геометрических размеров и физической структуры образцов изделий с помощью растрового электронного микроскопа; Измерение зависимости фотоотклика от температуры образца; Из-мерение переходных характеристик фотоотклика при изменении входного теп-лового воздействия; Измерение среднеквадратичного значения шума выходного сигнала.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Тема
Разработка методов создания наномембран для приемников инфракрасного изображения с зарядовой связью.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка новейших методов нанолитографии и реактивного ионного травления ультратонких сверхпроводящих пленок как основа создания рекордных по характеристикам терагерцовых супергетеродинных приемников и счетчиков фотонов инфракрасного диапазона.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка принципов построения и вариантов конструкторских решений и технологий изготовления одно - и многодиапазонных приемников излучения, работающих в традиционных (видимый + ближний ИК диапазон) и не традиционных (видимый + весь УФ диапазон) диапазонах и позволяющих производить электронную обработку получаемого изображения.
Продолжительность работ
2013, 8 мес.
Бюджетные средства
30 млн
Количество заявок
9
Тема
Трековые мембраны новых поколений для нанотехнологий
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Количество заявок
6
Тема
Разработка приемников и перестраиваемых фильтров на основе высокотемпературных сверхпроводников.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
2