Эксπир
Регистрация / Вход

Синтез тонких пленок карбида кремния

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,45 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Разработка модели, описывающей процессы зарождения и роста пленок карбида кремния и определение базовых принципов снижения температуры синтеза данных пленок на кремнии.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Рамазанов Нисредин Камалович

Этапы проекта

1
30.09.2008 - 14.11.2008
1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, по теме проекта.
2. Обоснован выбор принятого направления исследований и способов решения поставленных задач.
3. Разработана квантово-химическая модель, описывающая процессы зарождения и роста пленок карбида кремния и базовых принципов снижения температуры их синтеза.
4. Проведена модернизация экспериментального оборудования, для обеспечения синтеза тонких пленок карбида кремния.
5. Изготовлены и исследованы экспериментальные образцы пленок карбида кремния.
6. Составлены рекомендации по созданию новых технологий синтеза нано-, микро- и монокристаллических пленок карбида кремния при температурах до 1000 0С.
7. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
8. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
9. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2011 - 2012, 18 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Организация
ООО "Наноматериалы"
профинансировано
Тема
Синтез тонких пленок карбида кремния.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка технологии синтеза нового класса металлсодержащих кремний-углеродных многофункциональных пленок для создания приборов нового поколения, обладающих повышенной устойчивостью к воздействию окружающей среды
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Количество заявок
4
Тема
Разработка метода получения высокоомных слоев нитрида алюминия на карбиде кремния.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка базовых методов синтеза полупроводникового материала с промежуточной зоной на основе наногетероструктур с квантовыми точками германия в кремнии.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 14 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка методов получения нанокомпозитных пленок на основе аморфного кремния, содержащего кремниевые нанокристаллы, для солнечных элементов.
Продолжительность работ
2011 - 2012, 20 мес.
Бюджетные средства
14,96 млн
Количество заявок
5