Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка методов формирования интегральных структур на основе нанотрубочного материала для задач сенсорной техники, электроники и зондовой микроскопии

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Получение новых методов улучшения функциональных характеристик чувствительных элементов сенсорных структур за счет введения углеродных наноматериалов и их производных.

Этапы проекта

1
10.10.2008 - 15.11.2008
1. Разработана лабораторная технологическая инструкция интегрального формирования сенсорных структур на основе углеродных нанотрубок для регистрации низких концентраций токсичных газов (аммиак, диоксид азота, диоксид углерода).
2. Разработана лабораторная технологическая инструкция формирования элементов электроники.
3. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы углеродных нанотрубок.
4. Изготовлены и исследованы лабораторные образцы сенсорных и калибровочных структур, игл для зондовой микроскопии, элементов с нелинейными вольтамперными характеристиками на основе углеродных нанотрубок.
5. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление стенда для определения низких концентраций токсичных газов.
6. Изготовлен макет стенд для определения низких концентраций токсичных газов.
7. Разработана эскизная конструкторская документация на изготовление макета сенсорных устройств.
8. Изготовлен макет сенсорных устройств.
9. Разработаны методики контролируемого позиционирования углеродных нанотрубок в области электрических контактов: (1) передвижение углеродных нанотрубок вдоль поверхности подложки иглой зондового микроскопа, (2) нанесение нанотрубок на иглу зондового микроскопа и перенесение их в область контактов при подводе иглы к поверхности.
10. Проведены исследования сенсорных устройств, с целью регистрации присутствия аммиака, диоксида азота и диоксида углерода.
11. Разработаны методы:
- улучшения функциональных характеристик чувствительных элементов сенсорных структур за счет введения углеродных наноматериалов и их производных;
- формирования элементов электроники, калибровочных структур и игл для зондовой микроскопии с улучшенными характеристиками на основе углеродных нанотрубок (УНТ).
12. Проведены патентные исследования по ГОСТ 15.011-96.
13. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
14. Разработан проекта ТЗ на выполнение ОКР.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области естественных наук: 1. Теория и практика образования и эволюции нанокомпозитов с иерархической структурой пор в золь-гель процессах; 2. Сканирующая зондовая микроскопия материалов и элементов микро- и наноэлектроники. Новые аналитические возможности; 3. Материаловедение и диагностика элементов альтернативной энергетики; 4. Анализ структуры пористых материалов и релаксационных явлений в них; 5. Исследование наноструктурированных континуальных систем сегнетоэлектрик-полупроводник (диэлектрик) для нового поколения устройств функциональной электроники; 6. Исследование нелинейных свойств сегнетоэлектрических пленок в СВЧ диапазоне с целью создания формирователей ультракоротких импульсов; 7. Диагностика энергетического спектра светодиодных гетероструктур на основе множественных квантовых ям InGaN/GaN методами адмиттансной спектроскопии; 8. Моделирование и подгонка экспериментальных вольт-фарадных характеристик гетероструктур с квантовыми ямами; 9. Политипизм и пути оптимизации дефектной структуры слитков карбида кремния; 10. Исследование процессов синтеза естественных сверхрешеток
Продолжительность работ
2009, 3 мес.
Бюджетные средства
2,9 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Продолжительность работ
2009 - 2011, 27 мес.
Бюджетные средства
13,9 млн
Организация
АО "Гиредмет"
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области технических наук: 1. Исследование радиационных свойств МОП транзисторов на структурах КНС и КНИ методами приборно-технологического моделирования; 2. Разработка структур на основе углеродных нанотрубок и исследование влияния условий окружающей среды на их электрофизические свойства; 3. Исследование процесса формирования матрицы пористого анодного оксида алюминия; 4. Методы исследования нанотубулярных структур; 5. Получение углеродных нанотруб для создания изделий наноэлектроники на основе углеродных нанотрубок; 6. Получение углеродных нанотруб с помощью установки CVDomna; 7. Использование приборно-технологического САПР для моделирования радиационных свойств элементов СВЧ ИС на КНД структурах; 8. Разработка методов сканирующей зондовой микроскопии высокого разрешения углеродных наноструктур; 9. Разработка методов сканирующей зондовой микроскопии в исследовании и создании структур на основе углеродных нанотрубок; 10. Разработка физико-технических основ формирования планарных элементов наноэлектроники в тонких проводящих пленках
Продолжительность работ
2009, 3 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Тема
Разработка методов формирования интегральных структур на основе нанотрубочного материала для задач сенсорной техники, электроники и зондовой микроскопии.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Развитие методов волновой электроники на базе наноматериалов для решения задач мониторинга окружающей среды.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Обеспечение удаленного доступа студентов, исследователей, разработчиков к уникальным научным установкам и оборудованию - сверхвысоковакуумной (СВВ) системе формирования и следования морфологии, состава и электронной структуры наноматериалов методами сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС)
Продолжительность работ
2008 - 2009, 11 мес.
Бюджетные средства
27 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка комплекта технологического оборудования и технологии получения функциональных наноуглеродных интегральных структур.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
105 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологического комплекса для измерений характеристик текстуры большепольной поверхности на основе мультисенсорной зондовой микроскопии и динамической меры перемещения нанометрового диапазона.
Продолжительность работ
2011, 7 мес.
Бюджетные средства
13 млн
Количество заявок
1