Эксπир
Регистрация / Вход

Развитие методов плазменного травления для формирования наноразмерного рельефа

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3416
Организация
ООО "ЛМП"
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Получение новых научных знаний о процессах плазменного травления при формировании наноразмерного рельефа в функциональных слоях наноэлектронных систем.

Этапы проекта

1
06.10.2008 - 01.12.2008
1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме.
2. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
3. Разработана физико-химическая модель, описывающая взаимосвязь между технологическими параметрами и операционными характеристиками процесса плазменного травления кремнийсодержащих материалов.
4. Проведены исследования зависимостей между различными механизмами плазменного травления и в различных плазменных источниках на морфологию поверхности формируемых элементов наноструктур и, соответственно, на их электрофизические характеристики.
5. Разработана лабораторная технологическая инструкция плазменного нанопрофилирования поверхности кремнийсодержащих материалов.
6. Разработана эскизная конструкторская документация на макет лабораторного плазменного реактора.
7. Создан макет лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
8. Проведены испытания макета лабораторного реактора высокоплотной плазмы.
9. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов
10. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Тема
Развитие методов плазменного травления для формирования наноразмерного рельефа.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка технологии и технологического оборудования, обеспечивающих производство энергоэффективных насосов с улучшенными эксплуатационными качествами для топливно-энергетического комплекса за счет литографической модификации рельефа их функциональных поверхностей.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 18 мес.
Бюджетные средства
105 млн
Количество заявок
2
Тема
Создание функционирующего в режиме удалённого доступа интерактивного учебно-научного комплекса для выполнения работ по сверхпрецизионному наноразмерному травлению, нанесению и модифицированию материалов с использованием остросфокусированных ионных пучков и виртуальных симуляторов указанных процессов.
Продолжительность работ
2010 - 2011, 12 мес.
Бюджетные средства
23 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание метрологичесого комплекса нормативно-методической базы для измерений параметров рельефа и шероховатости поверхностей в нанометровом диапазоне.
Продолжительность работ
2008 - 2010, 26 мес.
Бюджетные средства
76 млн
Количество заявок
1
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4