Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка методов формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов микроэлектромеханических систем и сенсорики

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3417
Руководитель работ
Каплунов Иван Александрович
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Получение наноразмерных пленок на основе твердых растворов титанатов-цирконатов свинца с низкой температурой синтеза и на их основе наногетерогенных структур металл-сегнетоэлектрик-металл (полупроводник-сегнетоэлектрик-металл) для чувствительных элементов микроэлектромеханических систем (МЭМС) и сенсорики.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Головнин Владимир Алексеевич

Этапы проекта

1
09.10.2008 - 01.12.2008
Краткое описание выполненных работ:
1. Проведен анализ научно-технической литературы, нормативно-технической документации и других материалов, относящихся к разрабатываемой теме.
2. Проведены патентные исследования по ГОСТ Р 15.011-96.
3. Проведен анализ особенностей ионно-плазменного напыления сегнетоэлектрических пленок, обоснован выбор материалов и технологических процессов изготовления структур на базе сегнетоэлектрических слоев Pb(Zr,Ti)O3
4. Разработаны методы формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов микроэлектромеханических систем и сенсорики.
5. Изготовлены лабораторные образцы сверхтонких сегнетоэлектрических пленок твердых растворов титанатов-цирконатов свинца (бария, стронция).
6. Изготовлены лабораторные образцы наногетерогенных структур металл-сегнетоэлектрик-металл (полупроводник-сегнетоэлектрик-металл).
7. Разработаны методики исследования пленок.
8. Исследованы лабораторные образцы сверхтонких сегнетоэлектрических пленок твердых растворов титанатов-цирконатов свинца (бария, стронция).
9. Исследованы лабораторные образцы наногетерогенных структур металл-сегнетоэлектрик-металл (полупроводник-сегнетоэлектрик-металл).
10. Разработаны лабораторные технологические инструкции синтеза сегнетоэлектрических нанопленок и наногетерогенной структуры металл-сегнетоэлектрик-металл (полупроводник-сегнетоэлектрик-металл).
11. Проведены всесторонние маркетинговые исследования потенциального рынка сбыта как российского, так и зарубежного.
12. Проведена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов.
13. Разработан проект ТЗ на выполнение ОКР.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2009 - 2010, 13 мес.
Бюджетные средства
0,88 млн
Организация
МИЭТ
профинансировано
Разработка новых материалов для микро- и оптоэлектроники и методов диагностики их функциональных свойств: 1. Формирование наноструктур ультра высокого разрешения методами электронной и ионно-лучевой литографии 2. Исследование процесса рекристаллизации фазы перовскита в тонких сегнетоэлектрических пленках цирконата-титаната свинца, выращенных ex-situ методом 3 Исследование формирования пьезоэлектрических структур на основе нитевидных нанокристаллов ZnO 4. Изучение процесса отжига пленок висмута методами атомно-силовой и электронной микроскопии 5 Исследование толщинных зависимостей параметров нелинейно-оптического отклика в наноразмерных пленках титаната бария-стронция в электрических полях 6 Исследование топологии импульсных процессов переключения в нанодоменном сегнетоэлектрике-релаксоре SBN с фоторефрактивными примесями 7 Создание регулярных микродоменных структур в кристаллах ниобата бария-стронция методом сканирующей зондовой микроскопии и их тестирование методами нелинейной оптики 8 Разработка технологии изготовления и исследование наноструктур методом электронной микроскопии 9 Электрофизические и оптические свойства полярных сополимеров VDF/Tr VDF/Te и нанокомпозитов на их основе 10 Экспериментальное исследование генерации и детектирования терагерцового излучения с использованием кристаллов PPLN
Продолжительность работ
2010, 2 мес.
Бюджетные средства
1,8 млн
Организация
МИРЭА, МГУПИ, МИТХТ
профинансировано
Исследование функциональных свойств материалов и наноструктур методами нелинейной-оптики и сканирующей зондовой микроскопии 1. Исследование генерации второй гармоники на регулярных микродоменных структурах, записанных в поле АСМ в кристаллах ниобата бария-стронция. 2. Исследование многослойных гетероструктур на основе титаната бария-стронция и феррита висмута. 3. Оптимизация способов ионной очистки подложки при формировании наноструктур методами элекронно-лучевой литографии по технологии лифт-офф. 4. Исследование состава субмикронных пленок цирконата-титаната свинца по глубине и связи состава пленок с их сегнетоэлектрическими свойствами. 5. Исследование влияния поверхностных плазмонных резонансов на фотолюминесценцию наноструктур оксида цинка с наночастицами металлов. 6. Исследование нанопьезоэлектрических структур на основе нитевидных нанокристаллов ZnO. 7. Процессы переключения в нанокомпозитах с сегнетоэлектрическими включениями и сегнетоэлектрических тонких пленках. 8. Исследование доменной структуры
Продолжительность работ
2011, 5 мес.
Бюджетные средства
1,9 млн
Организация
МИРЭА, МГУПИ, МИТХТ
профинансировано
Продолжительность работ
2007 - 2008, 18 мес.
Бюджетные средства
10 млн
Организация
НИЯУ МИФИ
профинансировано
Проведение поисковых научно-исследовательских работ в области естественных наук: 1. Теория и практика образования и эволюции нанокомпозитов с иерархической структурой пор в золь-гель процессах; 2. Сканирующая зондовая микроскопия материалов и элементов микро- и наноэлектроники. Новые аналитические возможности; 3. Материаловедение и диагностика элементов альтернативной энергетики; 4. Анализ структуры пористых материалов и релаксационных явлений в них; 5. Исследование наноструктурированных континуальных систем сегнетоэлектрик-полупроводник (диэлектрик) для нового поколения устройств функциональной электроники; 6. Исследование нелинейных свойств сегнетоэлектрических пленок в СВЧ диапазоне с целью создания формирователей ультракоротких импульсов; 7. Диагностика энергетического спектра светодиодных гетероструктур на основе множественных квантовых ям InGaN/GaN методами адмиттансной спектроскопии; 8. Моделирование и подгонка экспериментальных вольт-фарадных характеристик гетероструктур с квантовыми ямами; 9. Политипизм и пути оптимизации дефектной структуры слитков карбида кремния; 10. Исследование процессов синтеза естественных сверхрешеток
Продолжительность работ
2009, 3 мес.
Бюджетные средства
2,9 млн
Организация
CПбГЭТУ "ЛЭТИ"
профинансировано
Тема
Разработка методов формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов микроэлектромеханических систем и сенсорики.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка базовых конструкций и технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических переключателей с подвижными элементами на основе алмазных и алмазоподобных пленок.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
2
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4
Тема
Организационно-техническое обеспечение проведения международной конференции с элементами научной школы для молодежи "Микро- и нано-доменные структуры в сегнетоэлектриках"
Продолжительность работ
2009, 4 мес.
Бюджетные средства
0,7 млн
Количество заявок
1
Тема
«Разработка композиций и методов синтеза многослойных энерговыделяющих наноструктурированных пленок (фольг) для получения неразъемных соединений чувствительных к нагреву материалов».
Продолжительность работ
2011 - 2012, 19 мес.
Бюджетные средства
20 млн
Количество заявок
1