Эксπир
Регистрация / Вход

Создание элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами для информационно-телекоммуникационных систем

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3419
Организация
ООО "НаноИмпринт"
Руководитель работ
Долгова Татьяна Викторовна
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,14 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Разработка технологии изготовления элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Федянин Андрей Анатольевич

Этапы проекта

1
06.10.2008 - 15.11.2008
2.2. Новизна научных решений в сравнении с другими работами, родственными по тематике и целевому назначению и определяющими мировой уровень.
Разработанные методики изготовления элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей на основе одномерных и двумерных фотонных кристаллов являются новыми, уровень разработок соответствует мировым. Мировая микро- и оптоэлектронная индустрия рассматривает нанофотонику как основу информационных технологий будущего, требующих увеличение скорости и объема передаваемой и обрабатываемой информации, что может быть достигнуто только при максимальной интеграции элементов и полностью оптического управления сигналами. Промежуточным шагом на этом пути является совершенствование методов создания планарных двумерных фотонных наноструктур, допускающих управления оптическими сигналами на микромасштабе. Элементной базой для оптоэлектроники нового поколения являются перестраиваемые двумерные фотонные кристаллы, а также структуры на их основе – планарные микроволноводы, разветвители, мультиплексоры, которые и были развиты в ходе выполнения настоящего государственного контракта.
2.3. Особенности исследования, разработки, метода или методологии проведения работы на отчетном этапе.
Особенности исследования на отчетном этапе обусловлены использовнием совокупности методов контролируемого электрохимического травления для поверхностной микрообработки полупроводниковых материалов и создания многослойных одномерных фотонных кристаллов, методов интерференционной лазерной микролитографии для создания полосковых микроэлектродных структур на поверзности фотонных кристаллов, а также методов сухого ионного травления фокусированным пучком для объемной микрообработки и создания двумерных фотонных кристаллов. Основными достоинствами использования целого семейства взаимодополняющих методов нанолитографии является параллельность изготовления всего ансамбля наноэлементов, возможность создавать наноструктуры, обладающие двумерной упорядоченностью нанообъектов на чрезвычайно больших, порядка 100 мм2, планарных размерах, а также дешевизна и простота используемых технологических приемов.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
15,82 млн
профинансировано
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами для информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка базовых конструкций и технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических переключателей с подвижными элементами на основе алмазных и алмазоподобных пленок.
Продолжительность работ
2012 - 2013, 17 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)
Продолжительность работ
2014 - 2016, 28 мес.
Бюджетные средства
48,3 млн
Количество заявок
8
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4
Тема
Разработка интегрированных нано- и микроэлектромеханических и оптоэлектромеханических устройств для прецизионного технологического и приборно-аналитического оборудования различного назначения.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
32 млн
Количество заявок
5