Эксπир
Регистрация / Вход

Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.11.3427
Руководитель работ
Шаманаев Сергей Владимирович
Продолжительность работ
2008, 1 мес.
Бюджетные средства
2,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Годовицин Игорь Валерьевич

Этапы проекта

1
14.10.2008 - 15.11.2008
В рамках НИР проведена разработка технологии создания микроэлектромеханических акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев, изготавливаемых методами поверхностной микрообработки. НИР выполнена на высоком научно-техническом уровне с применением современных аналитических и экспериментальных методик, средств расчета и моделирования, технологического и измерительного оборудования. Результаты НИР имеют высокое научное и практическое значение и могут быть использованы в смежных областях микромеханики: микроэлектронные технологии, микросенсорика, разработка химических чипов на кремнии.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2007 - 2008, 17 мес.
Бюджетные средства
7,8 млн
профинансировано
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических матричных акселерометров на базе наноразмерных функциональных слоев.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
4
Тема
Создание элементов микроэлектромеханических фотонных переключателей с интегрированными функциональными наноструктурами и наноматериалами для информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3
Тема
Разработка имплантируемых в организм человека микроэлектромеханических систем
Продолжительность работ
2014 - 2016, 27 мес.
Бюджетные средства
258 млн
Количество заявок
6
Тема
«Компьютерное моделирование, виртуальные разработка и функциональное тестирование органических матричных нанокомпозитов для промышленного применения (включая оптические, электрические, механические свойства)».
Продолжительность работ
2011 - 2013, 29 мес.
Бюджетные средства
90 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка методов формирования сегнетоэлектрических пленок для сверхминиатюрных элементов микроэлектромеханических систем и сенсорики.
Продолжительность работ
2008, 2 мес.
Бюджетные средства
2,5 млн
Количество заявок
3