Эксπир
Регистрация / Вход

Исследование и разработка физико - технологических решений создания, диагностики и приборно- технологического моделирования элементов наноэлектроники

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.513.12.0027
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Чаплыгин Юрий Александрович
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Внебюджетные средства
0 млн

Получение новых научных результатов, актуальных для инновационного развития российских технологий по приоритетному направлению науки и техники «Индустрия наносистем и материалы».
Развитие ведущей научной школы Российской Федерации.

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Шевяков Василий Иванович

Этапы проекта

1
04.08.2008 - 20.11.2008
1. Результаты работы на отчетном этапе, в том числе: разработанные виды продукции (веществ / устройств / программных продуктов / технологий / методов и результатов исследований) с указанием их характеристик, полученных, в том числе, по результатам испытаний, оценка соответствия этих характеристик требованиям технического задания.
Выявлены особенности метода нанолитографии на основе локального зондового окисления сверхтонких металлических пленок, обеспечивающие повышенную его производительность. Установлены материалы металлов, обеспечивающие эффективное проведение процесса нанолитографии.
Выявлены закономерности процесса нанопрофилирования кремния, основанного на использовании в качестве твердой маски пористого анодного оксида алюминия и плазменного его травления. Определены конструктивные параметры твердой маски оксида алюминия и подслоя титана, обеспечивающие проведение оптимальный процесс травления нанопрофилирования кремния.
Разработана методика проведения измерений на основе атомной силовой микроскопиив динамическом режиме, учитывающая эффект сдвига резонансной частоты кантилевера, обеспечивающая повышенную разрешающую способность метода. Разработан 3-х проходной метод измерений на основе магнитной силовой микроскопии, обеспечивающий устранение влияния на результаты измерений влияния встроенного электрического поля;
Развита физическая модель процесса плазменного травления при формировании наноразмерных элементов. Выявлены закономерности плазменного формирования структур. Получены корреляционные зависимости между различными механизмами плазменного травления и в различных плазменных источниках от морфологии поверхности формируемых наноэлементов;
Разработаны расчетные модели n- и p-канального транзистора c минимальным размером 0,065 нм, учитывающие короткоканальные и квантовые эффекты. Представлены результаты сравнения с характеристиками приборов предыдущих уровней технологии.
2. Новизна научных, конструкторских или технологических решений в сравнении с другими работами, родственными по тематике и целевому назначению и определяющими мировой уровень.
Разработанные методики проведения измерений на основе атомной силовой и магнитной силовой микроскопии соответствуют мировым аналогам. Разработанная 3-х проходная методика измерений на основе МСМ является оригинальной.
3. Особенности исследования, разработки, метода или методологии проведения работы на отчетном этапе.
Исследование наноструктур проводили с использованием современных средств диагностики нанообъектов – сканирующей зондовой и растровой электронной микроскопии, Расчетные модели короткоканальных транзисторных структур создавали с использованием современного лицензионного компьютерного продукта –«IC-TCAD» -Швейцария.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

1.3 Проведение проблемно-ориентированных поисковых исследований и создание научно-технического задела в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
МИРЭА, МГУПИ, МИТХТ
профинансировано
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ФГБОУ ВО "УГАТУ"
профинансировано
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ИМХ РАН
профинансировано
Продолжительность работ
2008, 4 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Организация
ИОФ РАН
профинансировано
Тема
Исследование и разработка физико - технологических решений создания, диагностики и приборно- технологического моделирования элементов наноэлектроники.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Исследование фундаментальных и функциональных свойств материалов и наноструктур для микро- и наноэлектроники.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
3
Тема
Новые наноструктурированные материалы, полученные на основе металлоорганических соединений.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
3
Тема
Объемные наноструктурные титановые материалы и стали для инновационных применений.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
1
Тема
Оптические материалы, активные и пассивные компоненты для терагерцового, ближнего и среднего ИК- диапазонов.
Продолжительность работ
2008, 3 мес.
Бюджетные средства
1,2 млн
Количество заявок
2