Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка и постановка базовой технологии опытного производства электронных сенсоров на основе нано- и микросистем для комплексной автоматизации и управления в теплоэнергетике

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.523.11.3018
Организация
МИЭТ
Руководитель работ
Дюжев Николай Алексеевич
Продолжительность работ
2009 - 2011, 26 мес.
Бюджетные средства
89 млн
Внебюджетные средства
36,5 млн

Создание опытного образца технологической линии по изготовлению электронных сенсоров на основе нано - микросистемной техники для использования в зданиях и сооружениях.

Соисполнители

Организация
АО "ЗИТЦ"
Организация
ОАО "НИИПМ"

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Фетисов Евгений Александрович

Этапы проекта

1
24.07.2009 - 31.10.2009
Разработано техническое предложение на опытный образец технологической линии опытного производства МЭМС-сенсоров, включающее: • результаты анализа требований, предъявляемых к технологическим процессам (ТП) производства электронных сенсоров на основе нано- и микросистем; • концепцию технологической линии опытного производства электронных МЭМС-сенсоров. 2) Разработана комплектность разрабатываемой технической документации на:• изготовление МЭМС-сенсоров;• изготовление МЭМС-датчиков.• технологическую линию опытного производства МЭМС-сенсоров.3) Разработаны проекты участков технологической линии, включающие подбор оборудования участков: • химической обработки;• фотолитографии;• травления;• термических процессов (диффузии, осаждения слоев);• вакуумного напыления;• плазмохимического травления;• сборки и корпусирования.
Развернуть
2
01.11.2009 - 18.12.2009
Разработаны технические предложения на МЭМС-датчики, включающего уточнение технических требований на разработку МЭМС-датчиков.
Разработаны технические требования к стендам для исследований характеристик МЭМС-сенсоров вибрации и давления (2 шт.)
Разработн проект опытного образца технологической линии опытного производства МЭМС-сенсоров, включающего планировку опытного образца технологической линии.
Разработан проект системы кондиционирования и вентиляции;
Разработан проект системы подачи и разводки деионизованной воды;
Разработаны требования по обеспечению охраны окружающей среды, связанных с функционированием технологической линии.
Развернуть
3
01.01.2010 - 30.06.2010
Произведен монтаж опытного образца технологической линии;
Разработан эскизный проект на МЭМС-сенсор и МЭМС-датчик вибрации на его основе;
Разработан эскизный проект на МЭМС-сенсор и МЭМС-датчик избыточного давления на его основе;
Разработан эскизный проект на МЭМС-сенсор и МЭМС-датчик разности давления на его основе;
Изготовлен стенд для исследования характеристик МЭМС-сенсоров вибрации.
Развернуть
4
01.07.2010 - 31.12.2010
Изготовлены макеты:
МЭМС-датчиков вибрации;
МЭМС-датчиков избыточного давления;
МЭМС-датчиков разности давления.
Разработаны методики исследований макетов.
Проведено исследование макетов МЭМС-датчиков.
Изготовлен стенд для исследования характеристик МЭМС-сенсоров давления.
Разработана предварительная технологическая документация на технологические процессы (ТП):
изготовления МЭМС-сенсора вибрации,
изготовления МЭМС-сенсора избыточного давления,
изготовления МЭМС-сенсора разности давления.
Развернуть
5
01.01.2011 - 30.06.2011
Изготовлены экспериментальные образцы. Разработаны комплекты рабочей конструкторской документации. Разработаны комплекты рабочей технологической документации на изготовление МЭМС-сенсоров. Выполнена наладка опытного образца технологической линии. Проведены предварительные испытания опытного образца технологической линии.
Развернуть
6
01.07.2011 - 15.09.2011
Проведена корректировка комплектов ТД на МЭМС-датчики по результатам приемочных испытаний с присвоением литеры «О1». Поведена корректировка ЭД опытного образца технологической линии по результатам приемочных испытаний
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

2.3 Осуществление комплексных проектов, в том числе разработка конкурентоспособных технологий, предназначенных для последующей коммерциализации в области индустрии наносистем
Продолжительность работ
2009 - 2010, 14 мес.
Бюджетные средства
40,6 млн
Организация
ФГУП ВЭИ
профинансировано
Тема
Разработка и постановка базовой технологии опытного производства электронных сенсоров на основе нано- и микросистем для комплексной автоматизации и управления в теплоэнергетике.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 28 мес.
Бюджетные средства
90 млн
Количество заявок
2
Тема
Развитие Центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области метрологии и аттестация нано-, микросистемной техники и электронной компонентной базы для теплоэнергетики.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 15 мес.
Бюджетные средства
120 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка комплексно оснащённых, компактных нанотехнологических лабораторий, предназначенных для создания широкого класса полупроводниковых приборов, в том числе для разработки опытно-промышленной технологии производства наногетероструктур для широкоформатных QWIP-матриц тепловых сенсоров.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 24 мес.
Бюджетные средства
150 млн
Количество заявок
2
Тема
Разработка базовых технологических процессов и оборудования для исследований и опытного производства приборов наноэлектроники, оптоэлектроники и микросистемной техники.
Продолжительность работ
2007 - 2009, 25 мес.
Бюджетные средства
230 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка энергосберегающего комплекса управления групповым электроприводом в сооружениях и объектах бюджетной сферы.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 15 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
6