Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка универсальной установки вакуумного напыления в вариантном исполнении для разработки и производства устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.527.12.9008
Организация
ЗАО "НТО"
Руководитель работ
Алексеев Алексей Николаевич
Продолжительность работ
2007 - 2008, 15 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Внебюджетные средства
40 млн

Цель работы: разработка современных технологических процессов, адаптированных к современному производительному технологическому оборудованию. Обеспечение отечественной промышленности, исследовательских и учебных центров современными технологиями и оборудованием для перспективных разработок в области информационно-телекоммуникационных систем. Создание отечественного образца производительного технологического оборудования, соответствующего по функциям и качеству импортным аналогам и доступного по цене для отечественных исследовательских и промышленных центров.

Предложения

Разработка универсальной установки вакуумного напыления в вариантном исполнении для разработки и производства устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем.
Тема
Разработка универсальной установки вакуумного напыления в вариантном исполнении для разработки и производства устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем.
Входящий номер
4692
Организация
ЗАО "НТО"
Руководитель организации-инициатора
Погорельский Юрий Васильевич

Этапы проекта

1
27.09.2007 - 31.10.2007
Проведена разработка эскизного проекта (очередь 1), в том числе:

• разработка возможных вариантов по созданию УВУ
• разработка технических решений по разработке составных частей УВУ
• разработка конструктивных решений по реализации УВУ
• разработка и обоснование технических решений, обеспечивающих показатели надежности
• выбор и обоснование базовых технологических процессов

Разработаны и согласованы с Заказчиком Комплектности технической документации, разрабатываемых на этапах ОКР
Закуплены материалы и комплектующие
Проведены патентные исследования в соответствии с ГОСТ 15.011-96
Реализованы мероприятия по достижению Программных Индикаторов
Проведено рассмотрение отчетных материалов на НТС
Развернуть
2
01.11.2007 - 31.12.2007
Выполнен эскизный проект БАГАД БИСД ПГ и БАГАД СУПТиР АЗС. Разработана КД на новое технологическое оборудование для изготовления БАГАД БИСД ПГ и БАГАД СУПТиР АЗС. Разработан комплект технологической документации на изготовление БАГАД БИСД ПГ и БАГАД СУПТиР АЗС
Развернуть
3
01.01.2008 - 30.04.2008
На данном этапе был разработан технорабочий проект, проведена разработка рабочей конструкторской, программной, технологической и эксплуатационной документации в соответствии с Комплектностью документации.. Проводилась разработка и изготовление макетов узлов УВУ, разработка программы и методики испытаний макетов узлов УВУ, испытания макетов узлов УВУ.
Была проведена закупка материалов и комплектующих, разработка базовых технологических процессов, разработка Программы и методики (ПМ) предварительных испытаний. Реализация мероприятий по достижению программных индикаторов.
• Разработаны и изготовлены макеты узлов УВУ.
• Разработаны программы и методики испытаний макетов узлов УВУ.
• Проведены испытания макетов.
• Разработана конструкторская, программная, технологическая, эксплуатационная документация в соответствии с Комплектностью документации.
• Закуплены материалы и комплектующие
• Разработаны базовые технологические процессы.
• Разработаны Программа и методика (ПМ) предварительных испытаний.
• Реализованы мероприятия по достижению Программных Индикаторов
• Рассмотрены отчетные материалы на НТС.
Развернуть
4
01.05.2008 - 15.12.2008
Изготовлен опытный образец УВУ, проведены ПИ, по результатам которых проведена корректировка технической документации, согласована программа и методика ПрИ, а также проведены сами приемочные испытания с присвоением документации литеры «О1» и корректировка технической документации по их результатам; реализованы мероприятия по достижению программных мероприятий
Разработана универсальная установка вакуумного напыления в вариантном исполнении, представляющая собой образец современного производительного технологического оборудования, позволяющий проводить разработки и производить ключевые элементы устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем.
Одной из целей проекта была разработка современных технологических процессов, адаптированных к современному производительному технологическому оборудованию. Были разработаны четыре базовых технологических процесса, охватывающих наиболее востребованные области применения при разработке и производстве приборов на основе соединений А3В5:
1.Технология изготовления металлизации барьера Шоттки для металлизации Ti/Pt/Au, созданного к транзисторной гетероструктуре Al0,22Ga0,78As/InGaAs/GaAs
2.Технология изготовления омических контактов для транзисторных гетероструктур AlGaN/GaN/AlGaN на базе Ta/Ti/Al/Mo/Au или Ti/Al/Ni/Au с сопротивлением не хуже 0,45 Ом?мм
3.Технология изготовления металлизации барьера Шоттки для металлизации Ni/Au, созданного к Al0.33Ga0.67N
4.Технология изготовления омических контактов для транзисторных гетероструктур n-типа AlGaAs/InGaAs/GaAs и для транзисторных структур n-GaAs на базе Ni/Ge/Au или AuGe/Ni/Au
Характеристики получаемых с использованием базовых технологий металлизаций соответствуют современному уровню требований к параметрам омических контактов и барьеров Шоттки, а в случае барьера к AlGaN/GaN/AlGaN на базе Ta/Ti/Al/Mo/Au соответствуют мировому уровню исследований в данной области, позволяя сделать еще один шаг к производству нового поколения телекоммуникационных устройств с усилительными элементами на GaN/AlGaN гетероструктурах (поскольку массовый промышленный выпуск таких устройств зарубежными фирмами еще не начался)
Другой целью проекта было способствовать обеспечению отечественной электронной промышленности, исследовательских и учебных центров современным технологическим оборудованием. На данный момент ряд отечественных центров электронной промышленнности и учебных центров проявляет к данной разработке большой интерес, ведутся переговоры о заключении контрактов на поставку. Поскольку установка позволяетпроводить технологический процесс напыления одновременно не менее чем на 10-15 пластин диаметром до 150 мм, предприятия, выпускающие современные усилительные устройства для телекоммуникаций на основе полупроводников А3В5, могут значительно увеличить производительность, перейдя с основного в отечественной промышленности диаметра пластин 52мм на 150мм. Установка по основным характеристикам соответствует импортным аналогам; а поскольку это соответствие было отражено в основных требованиях технического задания, можно сказать что это соответствие было одним из критериев выполнения технического задания. Помимо упомянутого количества напыляемых пластин необходимо отметить такие параметры как: остаточное давление, влияющее на чистоты напыляемых пленок - 5•10-8мм.рт.ст.; диаметр подложек – 76мм; 100мм; 150мм; время откачки до давления 1•10-7 мм.рт.ст. не более 30мин. при безмасляном типе всех средств вакуумирования камеры напыления. Данный набор параметров является фактически современным промышленным стандартом для установок напыления для разработки и производства приборов наноэлектроники на основе соединений Si-Ge и А3В5.
Отличительной особенностью установки является оригинальная система поддержания однородности и скорости напыления, выполненная на база системы толщиномеров с обратной связью с системой сканирования луча для электронно-лучевых напылительных установок.
В рамках разработки получен объект интеллектуальной собственности, подана заявка на патент «Конструкция вакуумной системы установки напыления сверхчистых материалов».
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

2.7 Проведение опытно-конструкторских и опытно-технологических работ по тематике, предлагаемой бизнес-сообществом
Тема
Разработка универсальной установки вакуумного напыления в вариантном исполнении для разработки и производства устройств для индустрии информационно-телекоммуникационных систем.
Продолжительность работ
2007 - 2008, 13 мес.
Бюджетные средства
40 млн
Количество заявок
1
Тема
Разработка технологий получения новых спецогнеупорных композиционных материалов для обеспечения конкурентоспособности цветной и черной металлургии.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
16 млн
Количество заявок
2
Тема
Научно-организационное, методическое и техническое обеспечение организации и поддержки научно-образовательных центров в области современных материалов и осуществление на основе комплексного использования материально-технических и кадровых возможностей совместных исследований и разработок
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
6 млн
Количество заявок
13
Тема
Разработка гаммы современного научно-лабораторного оборудования для проведения технических исследований при экологически безопасной добыче и переработке твердых полезных ископаемых, а также при их геологической разведке и оценке запасов.
Продолжительность работ
2009 - 2011, 25 мес.
Бюджетные средства
75 млн
Количество заявок
2
Тема
Научно-организационное, методическое и техническое обеспечение организации и поддержки научно-образовательных центров в области управления качеством и осуществление на основе комплексного использования материально-технических и кадровых возможностей совместных исследований и разработок.
Продолжительность работ
2005 - 2006, 23 мес.
Бюджетные средства
3 млн
Количество заявок
9