Эксπир
Регистрация / Вход

Выполнение работ по развитию центра коллективного пользования "Микросистемная техника и электронная компонентная база"(ЦКП "МСТ и ЭКБ") научным оборудованием (мероприятие Программы 5.2)

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
02.552.11.7006
Организация
МИЭТ
Продолжительность работ
2007 - 2008, 12 мес.
Бюджетные средства
75 млн
Внебюджетные средства
140 млн

Дальнейшее развитие сети центров коллективного пользования, созданных ведущими научными организациями и учебными заведениями. Повышение уровня научных исследований, проводимых по приоритетным направлениям Программы, и качества образования в результате использования научного оборудования сети центров коллективного пользования, отвечающего мировым стандартам по техническим и эксплуатационным характеристикам.

Соисполнители

Организация
АО "ЗИТЦ"

Этапы проекта

1
07.03.2007 - 15.10.2007
• Доработанная концепция Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база», предусматривающая построение и реализацию замкнутого технологического маршрута для предоставления услуг в области проектирования и изготовления современной отечественной электронной компонентной базы (ЭКБ) и изделий микросистемной техники с технологическими нормами до 0,35 мкм на основе развития соответствующих инфраструктурных компонентов и технологического дооснащения ЦКП.
• Оптимизированный процесс формирования светочувствительного слоя на фотошаблонной заготовке с низкоотражающим маскирующим покрытием.
• Оптимизированный процесс подготовки поверхности заготовки фотошаблона перед нанесением фоторезиста.
• Базовая методика подготовки исходных структур используемых при изготовлении подвижных микромеханических элементов.
• Договора (контракты) на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.
Развернуть
2
16.10.2007 - 31.12.2007
• Доработанная концепция Центра коллективного пользования «Микросистемная техника и электронная компонентная база», предусматривающая построение и реализацию замкнутого технологического маршрута для предоставления услуг в области проектирования и изготовления современной отечественной электронной компонентной базы (ЭКБ) и изделий микросистемной техники с технологическими нормами до 0,35 мкм на основе развития соответствующих инфраструктурных компонентов и технологического дооснащения ЦКП.
• Оптимизированный процесс формирования светочувствительного слоя на фотошаблонной заготовке с низкоотражающим маскирующим покрытием.
• Оптимизированный процесс подготовки поверхности заготовки фотошаблона перед нанесением фоторезиста.
• Базовая методика подготовки исходных структур используемых при изготовлении подвижных микромеханических элементов.
• Договора (контракты) на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.
Развернуть
3
01.01.2008 - 31.03.2008
В рамках выполнения третьего этапа были выполнены следующие работы:
? Проведена оптимизация маршрута изготовления фотошаблонов.
? Разработана базовая методика изготовления подвижных микромеханических элементов (датчиков давления, акселерометров, датчиков температуры).
? Заключены договора на закупку технических и контрольно-измерительных средств ЦКП.
? Проведено исследование образцов фотошаблонов по оптимизированной методике:
• Разработана тестовая структура и методика аттестации фотошаблонов с проектными нормами 0,35 мкм по параметру «Воспроизведение размеров элементов топологии».
• Проведено исследование воспроизводимости размеров элементов топологического рисунка по рабочему полю фотошаблона.
• Проведены анализ и контроль соответствия топологии рисунка фотошаблонов на соответствие проектным данным.
? Проведено исследование параметров проектируемых чувствительных элементов (датчиков давления, акселерометров, датчиков температуры).
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

5.2 Развитие сети центров коллективного пользования научным оборудованием
Тема
Выполнение работ по развитию сети центров коллективного пользования научным оборудованием (мероприятие 5.2 Программы)
Продолжительность работ
2007 - 2008, 13 мес.
Бюджетные средства
1 575 млн
Количество заявок
103
Тема
Выполнение работ по развитию сети центров коллективного пользования научным оборудованием (мероприятие 5.2 Программы)
Продолжительность работ
2007 - 2008, 11 мес.
Бюджетные средства
833 млн
Количество заявок
93
Тема
Развитие Центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области метрологии и аттестация нано-, микросистемной техники и электронной компонентной базы для теплоэнергетики.
Продолжительность работ
2009 - 2010, 15 мес.
Бюджетные средства
120 млн
Количество заявок
1
Тема
Поддержка и развитие центров коллективного пользования научным оборудованием в области живых систем
Продолжительность работ
2014 - 2015, 17 мес.
Бюджетные средства
795 млн
Количество заявок
22
Тема
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области создания высоковольтной техники.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
1