Эксπир
Регистрация / Вход

Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения

Проведение комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники и биоорганических нанообъектов с целью разработки технологии их получения.
Научно-методическое и приборное обеспечение научно-исследовательских, опытно-конструкторских и технологических работ, проводимых организациями Российской Федерации, с предоставлением возможности использования методов научных исследований, разработанных или освоенных центром коллективного пользования научным оборудованием (ЦКП).
Развитие материально-технической базы ЦКП путем дооснащения имеющихся специализированных комплексов или групп (лабораторий) приобретаемым научным оборудованием и развития новых методов выполнения измерений для обеспечения и развития исследований в форме коллективного пользования и содействия развитию сети ЦКП.

Соисполнители

Организация
ФТИАН РАН

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Рудый Александр Степанович

Этапы проекта

1
19.06.2008 - 31.10.2008
В ходе выполнения 1 этапа НИР разработаны:
• методы диагностики микро- и наноструктур, отвечающие современным требованиям технологии микро- и наноэлектроники;
• теоретические и экспериментальные основы наноструктурирования по-верхности ионным распылением;
• теоретические основы менеджмента центров коллективного пользова-ния научным оборудованием как субъектов инновационной деятельно-сти на основе аутсорсинга НИОКР.
Развернуть
2
01.11.2008 - 31.12.2008
Выполнен монтаж комплекса диагностики микро- и нано- структур на базе сканирующего электронного микроскопа. Произведена пуско-наладка СЭМ высокого разрешения с комплексом диагностики микро- и наноструктур.
Разработаны методики:
• физико-химического анализа микрочастиц с размерами менее 0,1 мкм,
• трехмерного анализа распределения элементов в структурах микро- и наноэлектроники и высокомолекулярных комплексов в биоматериалах методом вторичной ионной масс-спектрометрии.
Разработаны методы математического моделирования эрозии наноструктурированной поверхности и визуализации ионного распыления при ВИМС-анализе.
Произведена установка и пуско-наладка времяпролетного масс-спектрометра IONTOF SIMS 5
Выполнены монтаж и пуско-наладка сканирующих мультимикроскопов СММ-2000.
Организован учебно-научный класс мультимикроскопов для вузов г. Ярославля, осуществляющих подготовку и повышение квалификации специалистов в области нанотехнологий.
Заключен контракт на поставку комплектующих и расходных материалов для ВИМС Cameca IMS-4F.
Развернуть
3
01.01.2009 - 31.03.2009
Разработаны методики: послойного анализа функциональных элементов интегральных микросхем, в том числе для технологии 65 нм; исследования биоорганических нанообъектов при помощи ВИМС ONTOF SIMS 5; методики исследования и диагностики структурных элементов интегральных микросхем методом ВИМС, а также зондовыми и оптическими методами; методики количественного микроанализа для геологии и экологии. Разработаны технологии формирования высокоаспектного нанорельефа на поверхности твердых тел. Произведена пуско-наладка профилометров модели 130.Выполнена модернизация ВИМС CAMECA IMS-4F.
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2013 годы"

Программное мероприятие

5.2 Развитие сети центров коллективного пользования научным оборудованием
Тема
Развитие центра коллективного пользования научным оборудованием для обеспечения комплексных исследований в области диагностики микро- и наноструктур электроники, наноматериалов, биоорганических нанообъектов и технологий их получения.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
70 млн
Количество заявок
5
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований в области наноструктур и наносистем.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,2 млн
Количество заявок
4
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований в области физики и технологий наноструктур.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,6 млн
Количество заявок
5
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований кристаллических сред с наноструктурами для оптоэлектроники и лазерной техники.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,2 млн
Количество заявок
2
Тема
Обеспечение центром коллективного пользования научным оборудованием комплексных исследований и разработок в области диагностики и метрологии наносистем и материалов.
Продолжительность работ
2008 - 2009, 9 мес.
Бюджетные средства
17,2 млн
Количество заявок
3