Эксπир
Регистрация / Вход

Разработка элементов энергонезависимой памяти топологии IT-IR на основе эффекта резистивного переключения в тонких слоях оксидов переходных металлов

Стадии проекта
Предложение принято
Конкурс завершен
Проект закончен
Проект
14.575.21.0027
Досье недоступно
Организация
МФТИ
Руководитель работ
Зенкевич Андрей Владимирович
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Внебюджетные средства
6,5 млн

Создание новой продукции и технологий с целью создания конкретного образца (типа изделия, материала) или исследования особенностей его функционирования или применения

Участники проекта

Зам. руководителя работ
Заблоцкий Алексей Васильевич

Этапы проекта

1
30.06.2014 - 31.12.2014
Были отработаны режимы осаждения изолирующих слоёв оксидов HfO2 и Hf0,5Zr0,5O2 методом атомно-слоевого осаждения в реакторе Sunale R-150, а также слоёв Ta2O5 методом магнетронного распыления в установке Torr Mag Sput. Был разработан лабораторный маршрут производства экспериментальных образцов функциональных элементов энергонезависимой памяти на основе структур TiN/HfO2/TiN и TiN/Ta2O5/TiN. Сформованны АСО структуры TiN/HfO2/TiN демонстрирующие как обычные биполярные так и комплементарные обратимые резистивные переключения.
Развернуть
2
01.01.2015 - 30.06.2015
2.1 Разработка эмпирической модели поведения резистивных элементов ячеек ReRAM для симулятора электронных схем общего назначения (SPICE-модель)
2.2 Разработка схемотехнических решений сопряжения резистивных элементов и коммутирующих транзисторов для формирования дискретных ячеек памяти 1Т-1R.
2.3 Разработка конструкции и топологии ячейки памяти 1T-1R.
2.4 Разработка технической документации на лабораторные образцы ReRAM, содержащие дискретные ячейки памяти топологии 1T-1R.
2.5 Численное моделирование атомной и электронной структуры дефектов (поливакансий кислорода) в оксидных плёнках.
2.6. Экспериментальное исследование структурных дефектов оптическими методами в оксидных плёнках МДМ-струтур и МДП-структур.
2.7 Идентификация вакансий и поливакансий кислорода в оксидных плёнках МДМ-структур и МДП-структур.
2.8 Экспериментальное измерение ВАХ МДМ и МДП структур при различных температурах.
Развернуть
3
01.07.2015 - 31.12.2015
Изготовлены лабораторные образцы ReRAM, содержащие дискретные элементы памяти с топологией IT-IR. Разработана методика проведения экспериментальных исследований лабораторных образцов ReRAM, содержащих дискретные ячейки памяти топологии IT-IR. Разработано схемотехническое решение сопряжения резистивных элементов и коммутирующих транзисторов для формирования матрицы ячеек памяти IТ-IR. 1. Разработана техническая документация на исходные структуры с матрицей транзисторов для формирования матрицы ячеек памяти IТ-IR.
Развернуть
4
01.01.2016 - 30.06.2016
Изготовлены лабораторные образцы ReRAM, содержащие матрицу ячеек памяти топологии 1T-1R. Разработана программа и методики проведения экспериментальных исследований лабораторных образцов ReRAM, содержащих матрицу ячеек памяти топологии 1T-1R. Разработана техническая документация на экспериментальные образцы тестовых кристаллов, содержащих матрицу ячеек памяти 1T-1R.
Развернуть
5
01.07.2016 - 31.12.2016
Разработан лабораторный технологический регламента синтеза функциональных элементов энергонезависимой памяти на основе тонкопленочных МДМ-структур. Изготовлены экспериментальные образцы тестовых кристаллов, содержащих матрицу ячеек памяти 1T-1R. Разработана программа и методика проведения экспериментальных исследований экспериментальных образцов тестовых кристаллов, содержащих матрицу ячеек памяти 1T-1R. Разработан проект технического задания на проведение ОТР по теме: "Создание технологии производства энергонезависимой памяти на основе эффекта обратимого резистивного переключения".
Развернуть

Программа

Программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы"

Программное мероприятие

1.2 Проведение прикладных научных исследований для развития отраслей экономики
Продолжительность работ
2012 - 2013, 14 мес.
Бюджетные средства
2,64 млн
Организация
МФТИ
профинансировано
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
25 млн
Организация
АО "Гиредмет"
профинансировано
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению "Науки о жизни" в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
85
Тема
Конкурсный отбор трехлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению "Науки о жизни" в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
780 млн
Количество заявок
233
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Индустрия наносистем» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
300 млн
Количество заявок
105
Тема
Конкурсный отбор трехлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Индустрия наносистем» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2016, 30 мес.
Бюджетные средства
780 млн
Количество заявок
249
Тема
Конкурсный отбор двухлетних прикладных научных исследований, направленных на создание продукции и технологий, по приоритетному направлению «Информационно-телекоммуникационные системы» в рамках мероприятия 1.2 Программы.
Продолжительность работ
2014 - 2015, 18 мес.
Бюджетные средства
200 млн
Количество заявок
87